PVD estaldura-makinen osagarriak
-
PVD hutsean estaldura arku katodikoa ebaketa-tresnetarako makina
PVD hutsean estaldura arku katodiko deposizio-makinak garatu berri den katodo arku elektriko ioi iturria erabili du.Arku iturri berri honek modu eraginkorrean murrizten du partikulen kopurua eta tamaina prozesuan zehar.Gainera, egonkor funtzionatzen du eta denbora luzez mantendu dezake lana elektrizitate baxuan.Hori dela eta, estaldura-filma ondo konektatzen da oinarriarekin eta gainazal leuna eta mikro-gogortasun handia eta abar ditu.
