Inline Sputtering Sistema
-
Lineako Magnetron Sputtering sistema
Lineako Magnetron Sputtering sistema helburu ezberdinetarako funtzionatzen duen hutsean film mehe deposizio-ekipo bat da.Gure sputtering linearen aplikazio ohikoenak hauek dira:
Aluminiozko ispiluen fabrikazioa
- ITO beira estaldura
- Beira islatzaileen aurkakoa
- Altzairu herdoilgaitzerako eta beirarako estaldura apaingarriak
Estaldura-sistema hau klase handiko hutsean estaldura aplikazioetarako egokia da.Lan-errendimendu egonkorra sortzen du hutsean estaltzeko filmen kalitatea hobetzeko.
-
ITO Beira Magnetron Sputtering Estaldura Linea
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Lineak hutsean magnetron sputtering teknologia eta magnetron sputtering teknologia desorekatua hartzen ditu kalitate handiko beira flotatzailea SO2/ITO geruzarekin estaltzeko.Nazioarteko kontrol sistema aurreratuan oinarrituta.Fabrikazio prozesu osoa automatikoki eta etengabe funtzionatzen du.
-
Magnetron Sputtering Lineako Aluminiozko Ispilua
Aluminiozko Ispilua Magnetron Sputtering Linea beirazko ispiluaren fabrikaziorako errendimendu handirako diseinatuta dago.Beira handiagoak estali eta beira hauskorrak zaintzeko, batez ere tamaina handiko xaflak egiteko, normalean sputtering-lerro horizontalak egiten ditugu.Etengabeko magnetron estaldura-lerroa da, aurrealdeko eta atzealdeko ponpaketa-ganbera zakarrarekin, eta trantsizio-ganberaren ondoren, ponpaketa-ganbera finaren aurretik eta ondoren, buffer-ganbera bat, kolorez egindako gela.
Xede-diseinua: magnetroi zilindrikoak sputtering katodoak edo/eta katodo planarrak.
Energia iturria: potentzia handiko DC edo MF magnetron sputtering duen elikadura-hornidura
Gidatze-sistema: arrabolen eragilea, maiztasuna erregulagarria, indukzio motako gelako ateak irekitzeko sistema.
Huts-sistema: difusio-ponpa (edo turbo-molekularra) + sustraien ponpa + ponpa mekanikoa
