Lineako Magnetron Sputtering sistema

Deskribapen laburra:

Lineako Magnetron Sputtering sistema helburu ezberdinetarako funtzionatzen duen hutsean film mehe deposizio-ekipo bat da.Gure sputtering linearen aplikazio ohikoenak hauek dira:

Aluminiozko ispiluen fabrikazioa

ITO beira estaldura
Beira islatzaileen aurkakoa
Altzairu herdoilgaitzerako eta beirarako estaldura apaingarriak

Estaldura-sistema hau klase handiko hutsean estaldura aplikazioetarako egokia da.Lan-errendimendu egonkorra sortzen du hutsean estaltzeko filmen kalitatea hobetzeko.

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Inline magnetron sputtering estaldura makina batez ere DC (edo MF) magnetron sputtering estaldura helburu sorta zabaletara egokitu daiteke, hala nola: kobrea, titanioa, kromoa, altzairu herdoilgaitza, nikela eta sputtering prozesu baten bidez estali daitezkeen beste metalezko material batzuk. Filmaren atxikimendua, erreproduzigarritasuna, dentsitatea, uniformetasuna eta beste ezaugarri batzuk hobetu ditzake.

a.Oinarrizko ezaugarriak eta parametroak
b.lerro horizontalaren egitura aldi berean alde batetik estali daiteke
c.produkzio-eraginkortasuna, 1 min/taupada arteko abiadurarik azkarrenak
d.diseinu modularra, mantentze erraza
e.xaflatze prozesuaren heldutasuna, etekin handia
f.DC magnetron sputtering katodoak alda daitezke bezeroen eskakizunen arabera
g.Hutseko sistema ponpa mekaniko batez osatuta dago, Roots ponpak, difusio ponpak (ponpa molekularra) Konposizioa
h.Lerroaren gorputzaren tamaina alda daiteke bezeroaren eskakizunen arabera

1) Hutseko ganberako gorputzeko materialek SUS304 erabili zuten, hutseko ganberako hormaren tratamendua leuntzeko, kanpoko hormako spray leuntzeko aleak prozesatzeko.
2) Huts-ganberaren arteko ate balbula independente bat erabiliz - flapper balbula aparte, modu eraginkorrean moztu daiteke, prozesuko gasa egonkortu.Gaur egun gure enpresak flapper balbula diseinua hartzen du, hobeto zigilatzen du, egungo etxeko flap balbula arrunta baino iraunkorragoa.
3) Transmisioak gida magnetikoa erabiltzen du, unitatearen egonkortasuna babesten du.VVVF motor-unitatea erabiliz ekoizpen-lerro osoaren abiadura bakoitzeko, abiadura doi daiteke.
4) Kontrol elektrikoko sistema: ukipen-pantaila eta PLC kontrol automatikoa, gizon-makina elkarrizketa datuak bistaratzeko sistema, funtzionamendu-parametroak eta kontrol-teknologia lortzeko
1) Azken hutsaren presioa: 6 × 1 0E-4 Pa
2) batez besteko produkzio-zikloa: zehaztutako produktuaren arabera
3) Substratuaren euskarria Tamaina: pertsonalizatu daiteke eskakizunen arabera
4) Filmaren uniformetasuna: ±% 3ko eremu mugikorreko teknologia aurreratuak asko hobetu du helburuen erabilera
Segmentatutako berogailuen diseinua prozesuen optimizaziorako lagungarria da.